1.由于扩散泵油返流在泵开始工作和泵停止加热阶段，严重，因此在开泵前和停泵前应将扩散泵的入口的高真空阀门关闭，可以防止泵油返流到真空室。

  2.不要在压力高于10-2pa时给冷阱加入液氮，这样会导致凝结很多水气。冷阱在使用前要把液氮阱的贮液罐中的，水凝液都清除掉，以避免水冻结在阱内。开始抽气时，分步地加注液氮，这样可使真空系统冷凝物,捕集在阱的下部。当达到高真空后，应给阱加注液氮达到较高液面，以便，量捕集气体,使用广科真空包装机时请按说明书操作。

  3.为了缩短抽空时间，当真空室对，气压作短时间通气时，使用干燥氮气为好。把真空系统内表面的湿气减到小限度。通气时应在真空室一侧用放气阀门进行放气。不可以从扩散泵出口的前，管道上通气。 、

4使用热阴，电离计时，应该在真空室内的压力达到1.33×10-11pa时，再接通电离计的电源，防止因压力过高而烧坏规管的阴，灯丝。

 5.当真空系统停止工作时，应使系统处于并保持在真空状态下，但是机械泵要通，气。

 真空系统的日常维护工作,应注意以下几点：

 1.在真空系统操作吉应注意真空系统的清洁问题，对周期,工作的真空系统，应及时清除工艺过程所产生的污物，尽量缩短真空室暴露在在气中的时间以减少潮湿空气对真空室的吸附量。

 2.真空系统停止工作时应将系统抽空操作一定的真空状态。

 3.对系统中所使用的种真空泵，真空阀门等应严格遵守其操作规程，做好日常的维护工作。